現將金屬閥門的具體結構舉例如下:
1.直通式真空球閥:它常被用作真空系統的前級閥和放氣閥，公稱通徑70-300厘米。在球體中間穿洞的這種閥，它的材料是青銅、鋁合金等。加工時球體橢圓度為±0.02厘米，外徑偏差±0.1厘米，表面▽7。球閥密封材料是丁腈、氯丁、特氟隆和硅橡膠之類，也可用金屬密封。生產產品有手動和氣動兩種。
球閥比擋板閥、翻板閥結構簡單，通導能力大，使用壽命長，比蝶閥使用可靠，成本低。
2.氣動閘閥:這種閥是靠氣缸開閉的。
3.插板式超高真空閥門:其型號為CF-200,它被用作系統的主閥門。該閥門用于隔離離子泵和真空容器的通徑是200毫米。閥蓋和法蘭用氟橡膠密封，閥門其余零件均用不銹鋼制成。
4.三通超高真空閥:型號為CF-40，可作為系統的管道閥門。用于隔離真空容器和前級泵.
5.二通高真空閥門:型號為GF-40,閥門通徑40毫米，喉徑25毫米,閥蓋用氟橡膠圈密封。閥門其余零件均用不銹鋼制成。
6.放氣閥:型號為ZF-0.4，用于真空系統放氣。用氟橡膠密封、耐烘烤溫度<200℃,漏氣率<1 ×10-5托·升/秒。
7.微調真空閥:
微調真空閥在真空設備上用處很多，一般多作高真空微量放氣、充氣、均壓等用。 |
