在旋片式真空泵使用過程中顆粒狀物質和蒸氣或液體構成令人討厭的污染。
由于泵機構本身固有的自我補償間隙調整作用，所以它對小的機構損傷不特別敏感。在多數設計中，所選擇的滑動軸承比球軸承對灰塵的敏感性小。一旦塵粒因重力而從油中分離出來，油池中就產生沉淀物，它不參入油的循環，直到被清除掉。對于這些塵粒，可以用油過溥器濾除，但實際似乎不值得。如果污染嚴重，過濾器的更換過于須繁，就不如換油簡單。在塵粒進入泵內之前，最好將其阻止在可處理的位置處。對此，采用干式過濾器和含油捕集阱最為有效。所選擇的保護方法應取決于所處理的體積、塵粒的大小和允許的壓強下降。在有磨蝕塵粒的情況下，應使泵的零件表面硬度增高，以延長使用壽命。
暴露于低蒸氣壓下的物質并不少見。這些物質冷凝在泵中，并與潤滑液混合，或使潤滑液稀釋，或成漆狀和膠狀的沉淀物。氣鎮方法對此無能為力。最好的辦法是當這些蒸氣到達泵之前就將其擋住。但在許多場合下，這樣做是不妥的，因為泵在如此寬的壓強范圍內工作，難以設計出有效的阱，或者由于有一定的污染物使阱的維護成為困難的問題。此時，大都采用定期換油的辦法解決。
腐蝕性的污染物，特別是當其量不大時，是可以控制的。潤滑油可以在大多數金屬表面和腐蝕物之間起緩沖區的作用。另外，如能夠防止水的凝結，其腐蝕性的危害就變得相當有限。利用干燥氣體的隔離作用可有效地防止大氣在分離器中的凝結。保持分離器中有略高壓強的干燥氣體，能杜絕環坡濕度對泵油的影響。
溶性蒸氣是指那些溶解于油中的且又能在泵的入口側再釋放出來的很難用氣鎮法處理的物質。這時，最好使用雙級泵。大氣級的油粘度要保持在使原能工作的程度上。用對污染不敏
感的前級泵再生的油或真空蒸餾凈化的油均能較好地工作。
