1．抽氣速率(體積流率)(s單位：m3·min-1、m3·s-1、L·s-1)

當泵裝有標準試驗罩并按規定條件工作時，從試驗罩流過的氣體流量與在試驗罩上指定位置測得的平衡壓力之比。簡稱泵的抽速。即在一定的壓力、溫度下，真空泵在單位時間內從被抽容器中抽走的氣體體積。

2．極限壓力（極限真空）（單位：Pa/MPa/mmHg）

泵裝有標準試驗罩并按規定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩定的最低壓力。即真空泵的入口端經過充分抽氣后所能達到的最低的穩定的壓力。

3．起動壓力

泵無損壞起動并有抽氣作用的壓力

4．前級壓力

排氣壓力低于一個大氣壓力的真空泵的出口壓力。

5．最大前級壓力

超過了能使泵損壞的前級壓力。

6．最大工作壓力

對應最大抽氣量的入口壓力。在此壓力下，泵能連續工作而不惡化或損壞·

7．抽氣量（Q單位：Pa·m3·S-1；Pa·L·S-1）

流經泵入口的氣體流量。

8．壓縮比

泵對給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。

綜上所述：真空泵的抽氣速率和極限壓力兩個參量是在實際應用中選配真空泵的最重要的參量。