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真空機(jī)組中泵抽速的配合

一般的高真空系統(tǒng)均須采用真空機(jī)組以獲得足夠高的真空。最簡單的真空機(jī)組為多級擴(kuò)散泵或渦輪分子泵(作為主泵)與機(jī)械泵(作為前置泵)等串聯(lián)。在多泵串聯(lián)使用時，不但極限真空要有一定的要求，抽速之間也應(yīng)有合理的配合，以充分發(fā)揮各泵的效能。各泵之間的關(guān)系，可根據(jù)穩(wěn)定流動下，流量恒定關(guān)系來確定。

設(shè)S1為主泵的抽速，S2為前置泵的抽速，p1為工作時主泵的進(jìn)口壓強(qiáng)，P2為前置泵的進(jìn)口壓強(qiáng)。則主泵的抽除量為p1S1，前置泵的抽除量為P2S2。穩(wěn)定流動時，兩者相等，故有：p1S1=p2S2

則得：

即前置泵的抽速應(yīng)等于主泵抽速乘以兩泵的工作壓強(qiáng)比值p1/p2。因?yàn)橛衟1>p2，故有S2<S1,即前置泵抽速比主泵抽速小。例如，設(shè)機(jī)組工作時擴(kuò)散泵的壓強(qiáng)為機(jī)械泵的10-3倍，即p1/p2=10-3，此時理論上機(jī)械泵抽速僅為擴(kuò)散泵抽速的千分之一即可。實(shí)際選用機(jī)械泵時抽速應(yīng)比理論值大3~5倍，以留有充分的余地;同時可縮短系統(tǒng)達(dá)到擴(kuò)散泵啟動壓強(qiáng)所需的時間。

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