國內真空技術的現狀及發展前景

隨著國內真空技術應用領域的不斷廣泛普及，各種真空獲得設備的發展非常迅速。目前我國生產的各種真空泵型號、規格、性能參數基本上能滿足我國真空應用發展的基本需要，特別是老產品都在不斷改進，新產品不斷開發，取得了顯著的成績，而且滿足了各行業不同的工藝需求。

表1列出了我國真空獲得產品生產概況。

從上述情況可以看出，我國生產的真空獲得產品，極大多數是屬于傳統的真空獲得設備。高真空泵是以油擴散泵為主，中低真空泵仍然以水環式真空泵、旋片式真空泵、滑閥真空泵、羅茨真空泵為主。

我國真空技術的應用90%左右都是集中在傳統的工業領域，如真空干燥、真空冶金、真空熱處理、真空吸附、真空鍍膜、真空浸漬干燥、真空蒸餾、濃縮以及真空排氣、真空包裝、制冷等行業。

近年來，國外的真空技術應用已從傳統的工業領域轉向半導體、平板顯示(LCD,PDP,OLED)、太陽能光伏電池、化學工業、生物制藥等高端產業領域，真空系統已經出現更新換代的局面，有油的真空系統已被清潔無油、耐腐蝕的真空系統所代替。所以國外各種類型的干式真空泵、復合分子泵、磁懸浮軸承分子泵和低溫泵發展很快，市場上均有商品出售。而國內，這一類產品基本上處于空白，無法適應時代發展的需要。