重新審視有油真空泵系統

站在節能減排的高度審視傳統的有油真空泵系統是每個真空業者當今必須正視的問題。傳統的無油概念僅僅是為了獲得清潔的、無碳氫化物污染的真空環境。今天的“無油”除滿足工藝要求的清潔的真空環境外，對外排氣還要保護環境，杜絕廢油廢氣的污染與排放。

傳統的有油真空系統(2X型旋片式真空泵)，能源利用率普遍較低，其中尤以油增壓泵油擴散泵為甚，簡直就是“電老虎”，正是在此背景下，分子泵得以大行其道，在φ400 mm以下的區域內大有取代傳統擴散泵之勢。同為φ250mm的泵，擴散泵功率比分子泵的大五倍，可見能源浪費之大。長此下去，有油真空系統的市場空間勢必越走越窄。