油式真空泵是半導體行業中常用的真空泵種類，最主要的特點是真空度高，能滿足新型行業的特殊工藝要求，其中又以旋片式真空泵和往復式真空泵為主要代表。隨著時間的推移，社會的進步，它們在各種應用中的表現越來越不能使人們感到滿意，比如旋片式真空泵不能抽水蒸氣和可凝性氣體及易腐蝕性氣體等，因此，干式真空泵應運而生。
在過去的十多年里，有好幾種不同類型的干式真空泵被設計和生產出來，它們在機械結構設計上有明顯差異。因為這種差異，我們可以將干式真空泵歸納為以下幾種類型：圓裂片式，爪式，組合式（羅茨＋爪），螺桿式。當今，這些類型被不同生產廠家所廣泛應用。其中，圓裂片式，爪式和組合式（羅茨＋爪）被稱為多級泵。因為它們的工作方式大致相同，都是利用多級真空腔對氣體進行反復的壓縮來產生真空。在多次反復壓縮的過程當中，氣體的溫度和壓力也產生比較復雜的變化，因而比較容易引起氣體物理特性的變化。而螺桿式被稱為單級泵，因為它只靠一個真空腔來產生真空。根據其氣體壓縮方式的不同，又可將其分為內部壓縮型螺桿泵和外部壓縮型螺桿泵。 |
