有些真空工藝會(huì)產(chǎn)生大量的灰塵，如果灰塵隨被抽氣體進(jìn)入油封真空泵內(nèi)混在泵油中，會(huì)像研磨劑一樣加速泵腔內(nèi)零件的磨損，對(duì)泵轉(zhuǎn)子和泵腔造成磨損和破壞，堵塞油路或使泵無(wú)法運(yùn)行，如果灰塵進(jìn)入真空閥門則會(huì)使密封失效而泄漏，因此塵埃的防止和過濾己成為延長(zhǎng)真空系統(tǒng)的使用壽命，提高生產(chǎn)率的關(guān)鍵問題，在有塵埃的真空系統(tǒng)中，必須采用塵埃過濾器。

在灰塵量較少時(shí)，可以由泵油過濾系統(tǒng)濾除，但灰塵量較大時(shí)，為防止真空泵的損壞，保證真空泵的正常運(yùn)轉(zhuǎn)必須使用除塵器。