由于某種原因引起電動機超負荷運轉，甚至轉不動，通常習慣上把這種現象就叫“卡死”真空泵發生卡死的原因是:彈簧損壞，使旋片受力不勻;裝配不當，使某局部受力;由于進氣口的濾網丟失或損壞，使外部臟物，金屬屑、玻璃屑等落入泵腔內。此外，泵轉子、旋片端面與端蓋間的間隙過小，摩擦發熱使旋片伸長或過熱過緊的摩擦加之旋片硬度過大，與毛刺互相碾括，使端面產生深劃痕，最后燒結卡死。當軸和軸套配合過緊時，再加滑潤油路不通暢，也會因互相粘碾卡死泵長時間不用，泵腔內生銹;泵在濕度較大的環境下運轉或抽除潮濕氣體，使泵油變成乳濁液或泵油結垢甚至結殼泵油粘度過大(冬天);轉子在啟動瞬間被打裂;有些泵的高、低真空室氣道上有半圓槽，其上壓的橡皮板被壓得太緊，堵死了中間氣道通路等等，均易使泵卡死。這種毛病常常是很危險的，因在卡死瞬間，由于轉子使電動機超負荷或轉不動，易使電機燒毀。即使不燒電機，如不及早停車修理，則會輾壞泵腔，打壞旋片，扭壞轉子，燒壞端面等，其后果總是很不好的。
卡死總是發生在轉子、旋片與端面或中隔板之間或轉子與泵腔之問，而這些部位正是決定一臺真空泵的極限壓強的關鍵部位，所以，一發生卡死現象，就要緊急停泵，排除故障，妥善修理，千萬不可再試車甚至蠻干，否則很易造成全泵報廢，無法修復。前己講過類似例子。
有些泵的卡死毛病較易修復。例如:上海或常德生產的一種旋片泵，前后級的氣體通路是在中隔板頂部銑一半圓槽，上面墊橡皮板，由油箱壓緊，當橡皮板太厚、油箱壓得太緊或橡皮被油泡久發脹等而使氣道半圓槽被堵死時，就會使泵開不動或開一會兒便卡死這時，只需把泵拆開，挖去氣道部分所墊橡皮，重新裝好即可。
排氣閥片被壓得太緊也能造成真空泵卡死例如，有一臺400L/min的滑閥泵當排氣閥被壓得過緊跳不開時，便出現了卡死現象此時，只需拆開油窗，將壓排氣閥的螺母略松一點，調整一下即恢復正常。